一、產品簡介

　　SuperView W1-Pro光學3D表麵輪廓儀是（shì）一款用於對各種精密器件及材（cái）料表麵（miàn）進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光幹涉技術（shù）為原理、結合精密Z向掃（sǎo）描模（mó）塊、3D 建模算法等對器件表麵進行非接觸式掃描並建立表麵3D圖像（xiàng），通過係統軟件（jiàn）對器件表麵3D圖像進行數（shù）據處理與分析，並（bìng）獲取反映器件表麵（miàn）質量的2D、3D參數，從而實現器件表麵形貌3D測量的光學檢測儀（yí）器。

　　SuperView W1-Pro光學3D表麵輪廓儀可廣泛（fàn）應用於半導體製造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃（lí）屏及其精密配件、光學加工、微（wēi）納材料及製造、汽車零部件、MEMS器件（jiàn）等超精密加工行業及（jí）航空航天、國（guó）防軍工（gōng）、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射（shè）率到高反（fǎn）射率的物體表麵，從納（nà）米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率（lǜ）等（děng），提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300餘種2D、3D參數作為（wéi）評價標準。

二、產（chǎn）品（pǐn）功能

1.係統光源及壽命：雙LED光源（白（bái）光和（hé）綠光），10萬小時超長壽命，終身無（wú）需更換；

2.測量模式：垂直掃描（miáo）幹涉模式（VSI），相移幹涉模式（PSI），結合VSI和PSI的自適應通用測量模式（USI）

3.多區域自動分析：自動獲取圖案化形貌區域的三維信息（高度、寬度（dù）、麵積、體積、粗（cū）糙度、傾（qīng）角等），同時具有自動統計分析功能。

4.一體化操作的測量與分析軟件，操（cāo）作無須進行切換界麵，預先設置好配置參數再進行測量，軟件自動（dòng）統計測量數據並提（tí）供數據報表導出功能，即可快速實現批量測量功能。

5.測（cè）量中提供自動多區域測量功能、批量（liàng）測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能（néng）。

6.測量中（zhōng）提（tí）供拚接測量功能（néng）。

7.分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能，其中調整位置包括圖（tú）像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾（lǜ）波、修（xiū）描（miáo）、尖峰去噪等功能；濾波包括去除（chú）外形、標準（zhǔn）濾波、過濾頻譜等功能；提（tí）取（qǔ）包括提取區域和提取剖麵等功（gōng）能。

8.分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析（xī）功能，其中粗糙度分（fèn）析包（bāo）括依據國際標準的ISO4287的（de）線粗糙度、ISO25178麵粗糙度、ISO12781平（píng）整度等全（quán）參數分析功能；幾何輪廓分析包括（kuò）台階高、距離（lí）、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；結構（gòu）分析包（bāo）括孔洞（dòng）體積和波穀深度等；頻（pín）率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析（xī）包括SK參數和體積參數等功能。

9.分析中同時提供一鍵（jiàn）分析（xī）和多文件（jiàn）分析等輔助分析功能，設置分析模板，結合測量中提（tí）供的自動測量和批量測量功能（néng），可實現對小尺（chǐ）寸精密器件的批量測量並直接（jiē）獲取分析數據的功（gōng）能。

三、應用（yòng）領域

　　對各種產品、部件和材料表麵的平麵度、粗糙度（dù）、波紋度、麵形輪（lún）廓、表麵缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙（xì）間隙、台階（jiē）高度、彎曲變形情況、加工情況等表麵形貌特征進（jìn）行測量和分析。

半導體.拋光矽片、減薄矽片、晶圓IC
3C電（diàn）子.藍寶石玻璃粗糙度、手機金屬殼模具瑕疵、手機油墨屏高度差
超精密加工.光學透鏡	精密加工.發動機葉片
精密加工.金字塔型金剛石磁頭	標準樣塊.單刻（kè）線台階（jiē）、多刻線粗糙度

四、應用案例：

五、樣品測試報告：

　　點擊表格內圖片或文字可查看詳細報告數據

懇請注意：因市場（chǎng）發展和產品開發的（de）需要，本產品資（zī）料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬（jìng）請諒解（jiě）。