一、 產品描述

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓（kuò）儀是一款用於對各種精密器件及材（cái）料表麵進行亞納米級（jí）測量的檢（jiǎn）測儀器。它是以（yǐ）白光幹（gàn）涉技術為原理（lǐ）、結（jié）合精密Z向掃描模塊、3D 建（jiàn）模算法等對器件表麵進行非接觸式掃描並建（jiàn）立表麵（miàn）3D圖像，通過（guò）係統（tǒng）軟件對（duì）器件表麵3D圖像進行數（shù）據處理與分析，並獲取反（fǎn）映器件表麵質量的2D、3D參數，從而實現器件表麵形貌3D測量的光學（xué）檢測儀器。

　　SuperView W1光學3D表（biǎo）麵輪廓儀可廣泛應用於半（bàn）導體製造及封（fēng）裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及製造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院所（suǒ）等領域中（zhōng）。可測各類從超光滑到粗糙（cāo）、低反射率到（dào）高反射率的物體表麵，從（cóng）納米到微米級（jí）別工件的粗糙度、平整度、微（wēi）觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大（dà）國內外標準共計300餘種2D、3D參數作為評價標準。

二、產品功能

1）係統光（guāng）源及壽命：雙LED光源（白（bái）光和綠光），10萬小時超長壽命，終身無需更換；

2）測量模式：垂（chuí）直掃描幹涉模式（VSI），相移幹涉模式（PSI），結合VSI和PSI的自適應通用測量模式（USI）；

3）多區域自動分析：自動獲取圖案化形（xíng）貌區域的三維信息（xī）（高度、寬度、麵積、體積（jī）、粗（cū）糙度（dù）、傾角（jiǎo）等），同時具有自動統計分析功能。

4）具（jù）備各種類型樣（yàng）品表（biǎo）麵微觀形貌的3D輪（lún）廓重建與（yǔ）測量功能（néng）；

5）具備表麵（miàn）粗糙度和微觀輪廓的檢測功（gōng）能，粗糙度範圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別；

6）具備（bèi）校（xiào）平、去（qù）除形狀、去噪、濾波等數據處理功能；

7）具備粗糙度分析、輪廓分析（xī）、結構分析、功能分（fèn）析等表麵參數分析功能；

8）具備自動對焦、自動（dòng）測量、自動多區域測量、自動拚接測量等（děng）自動化功能；

9）具備一鍵分析、多文（wén）件分析等快速（sù）、批量分析功（gōng）能；

10）具備word、excel等數據報表導出功能。

三、應用領域

　　對各種產（chǎn）品（pǐn）、部件和材料表（biǎo）麵的平麵度、粗糙度、波紋度、麵（miàn）形輪廓、表麵缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階高度（dù）、彎曲變形情況、加工情況（kuàng）等表麵形貌特征進行測量和分析。

應用範例：

半導體.拋光矽片、減薄（báo）矽片（piàn）、晶圓IC
3C電子.藍寶石玻璃粗糙度、手機金屬殼模具瑕疵、手機油墨屏（píng）高（gāo）度差
超精密加工.光學透鏡	精密加工.發（fā）動機葉片
精密加工.金字塔型金剛石磁頭	標準樣塊.單（dān）刻線台階、多刻線粗糙度

四、性能特色

1.高精度、高重複性

1）采用（yòng）光學幹涉技（jì）術、精密Z向掃描模塊和優異的3D重建算法組成測量係統，保證（zhèng）測量精度高（gāo）；

2）獨特的隔（gé）振係統，能夠（gòu）有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地麵振動噪聲和空氣中聲（shēng）波振動噪聲，保障（zhàng）儀器在大部分的生產車間環境中能穩定（dìng）使用（yòng），獲得極高的測量重（chóng）複性。

2.一體化操作的測（cè）量分析軟件

1）測（cè）量與（yǔ）分析同界麵操作，無須切換，測（cè）量數據自動統計，實（shí）現了（le）快速批（pī）量測量的功能；

2）可視化窗口，便於用戶（hù）實時觀（guān）察掃（sǎo）描過程；

3）幾（jǐ）何分析、粗糙度分析、結構（gòu）分析、頻率分（fèn）析、功能分析五大功能模塊齊全；

4）一鍵分（fèn）析、多文件分析，自由組合（hé）分析項保存（cún）為分析（xī）模板，批量樣品一鍵分析，並提供數據分析與（yǔ）統計圖表功能；

5）可測（cè）依據（jù）ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300餘種2D、3D參數。

3.精密操縱手柄

　　集成X、Y、Z三個方（fāng）向位移調整功能的操（cāo）縱手柄（bǐng），可快速完成載物台平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

 4.雙重防撞保護措施

　　除（chú）初級的軟件ZSTOP設置Z向位（wèi）移下限位進行防撞保護外，另在Z軸（zhóu）上設計有機械電子（zǐ）傳感器，當鏡（jìng）頭觸碰到樣品表麵時，儀器自動進入（rù）緊急停止（zhǐ）狀態，最大限度的保護儀器，降（jiàng）低人為操作風險。

5.雙通道氣浮隔振係統

　　既可以接入客戶現場的（de）穩定氣源也可以接入（rù）標配靜音空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩定工作。

五、應用案例：

六、樣品測試報告：

　　點擊表格內圖片或文字可查看詳細報（bào）告數（shù）據

懇請注意：因市場發展和產品開發的需要，本（běn）產品資料中有關內（nèi）容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕（shù）不另（lìng）行通知，不便之處敬請諒解。